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회전도입기(ARM)
제조사/원산지
R-DEC/JAPAN
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회전도입기(ARM)

각종 진공장치에서 진공중 회전운동을 대기측에서 조작 가능한 회전 도입기구입니다 

 

  • - 압력 10-8Pa이하의 초고진공영역 대응
  • - Magnet Coupling 방식을 채용
  • - 진공측 베어링은 수명이 긴 드라이 윤활베어링을 채용
  • - 스토퍼에 의해 임의의 각도 설정이 가능

 

허용리크량 ≦1.33x10-11Pa・m3/sec
구동방식 Magnet Coupling 방식
허용가열온도 ≦200℃

 

 

 Model No.
A
접속Flange
이동축 외경
(mm)
C
（mm）
D
（mm）
E
（mm）
회전토크
(Nm)
중량
（Kg）
ARM-133 ICF34-FH φ6(g6) 104.5 50 φ39 0.1 0.3
ARMH-133 0.4
ARM-275 ICF70-FH φ8(g6) 151.5 φ65 1.7 2.4

 
 * 셋업 例（2軸）
 
 
02-1_setup.jpg
 
 
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