초고진공대응 Transfer Vessel

Maker : R-DEC

Model : ATV-100/200, NT Type

본 제품은, 초고진공을 유지한채로 시료의 운송, 장치간의 운송이 가능한 Transfer Vessel입니다.

컴팩트한 설계로 용도에 맞춰 System-up이 가능합니다.

実績(실적)

・ NEXTorr IP-ON 상태에서 ３日間1.7×10-8Pa 유지!

・ NEXTorr IP-OFF 상태에서 ３日間1.5×10-7Pa 유지!

（※無負荷条件(무부하 조건)、NIG게이지 실측값에서）

특징

・ 전원 없이도 초고진공상태를 유지한채 운반과 이동이 가능!

・ 고진공 탈가스 처리를 실시하여, 부품에서의 가스방출을 저감!

・ 반송시에는 게터펌프로 배기하기때문에 전원이 필요없음!

・ 기판 전달을 위한 반송기구(Magnet Feedthrough)을 장착 완비!

・ 차세대 펌프 NEXTorr(이온펌프+게터펌프)를 표준 장비!

・ 콤팩트한 디자인으로 전용 운반케이스를 이용하여 쉽게 운반 가능! 

모델선택