반사 고에너지 전자회절 장치　

반사고에너지 전자회절법(RHEED)은 박막 결정성장 기술의 발전과 함께 결정화 평가를 위한 관찰 수단

으로서 불가결한 기술이 되었습니다.  RHEED는 일반적으로 10~30keV 정도의 전자선을 시료 표면에

1~2도 정도의 얕은 입사각으로 조사하고,  전자의 파동성을 이용해 결정 격자에 의해 회절된 전자선을

맞은편 스크린에 투사하여 결정 표면의 구조를 조사할 수 있는 장치입니다.

특징

・리모컨(HV、Emission, Focus, XY편향) 기능 포함

・RoHS 대응

・Interlock 안전기구 부착

・차동배기용 포트(옵션) 추가 가능

・높은 내구성과 신뢰성(안전성)

・고휘도 빔스팟

・kSA400 RHEED 이미지・영상해석 시스템과 호환

"새로운 특징"

・전자빔 스팟의 고휘도화 실현

・Magnetic Sheild 표준 장착

・최적 조건의 회절패턴 설정값을 3개까지 저장 가능

・전원리셋 후에도 간단하게 사용하던 회절 패턴값 재현 가능

・제어 리모컨에 액정모니터 채용

・디지털 제어 전원으로 되어있어 안전성이 더욱 향상 됨

*외관・사양등은, 개량을 위해 사전에 예고없이 변경될 수 있으므로 양해 부탁드립니다.